Kopparmål

Kopparmål är solida förstoftningskällor gjorda av högrent kopparmaterial. De används främst för sputtring av beläggning i fysikaliska ångavsättningsprocesser (PVD), avsättning av högpresterande kopparfilmer på substratytor.

1. Ultrahög renhet: Kärnmaterialets renhet är strikt kontrollerad till 99,999% (5N) till 99,9999% (6N). Denna extrema renhet minimerar risken för att föroreningar införs i filmen, vilket säkerställer att de avsatta filmerna har utmärkt elektrisk och termisk ledningsförmåga, duktilitet och stabilitet, och uppfyller de stränga kraven på avancerade halvledare, display och optiska precisionsbeläggningar.
2. Anpassningsbara mått och vikt: Vi erbjuder anpassningsbara tjänster. Baserat på kammarspecifikationerna för kundens förstoftningsutrustning och specifika processkrav, kan vi skräddarsy kopparmål till önskad maximal storlek och vikt, vilket uppnår optimal beläggningseffektivitet och materialutnyttjande.
3. Robust förpackning: Trippelskydd garanterar säker transport:
Kärnskydd: Målmaterialet är vakuumförpackat i två lager för att effektivt isolera luftfuktighet, förhindra oxidation och förhindra ytkontamination.
4. Dämpningsskydd: Vakuumförpackningen är fylld med högpresterande pärlemorskimrande skum (EPE) dämpningsmaterial för att absorbera stötar och vibrationer, vilket förhindrar fysisk skada.
5. Yttre boxförstärkning: Det yttersta lagret är inneslutet i en robust trälåda, vilket ger starkt strukturellt stöd och motstånd mot yttre påverkan, vilket säkerställer säker global transport.
6. Primär tillämpning: Designad för förstoftning av beläggningsprocesser såsom magnetronförstoftning och jonstråleförstoftning. I en högvakuummiljö bombarderar högenergipartiklar målmaterialet och förstoftar kopparatomer från målytan. Dessa atomer avsätts sedan på substrat (såsom kiselwafers, glas och polymerfilmer), och bildar en enhetlig, tät och mycket vidhäftande funktionell kopparfilm.